专利详情

专利名称	一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法
申请号	CN201210023696.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102545056A	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	曹俊诚;万文坚;韩英军
主分类号	H01S5/34(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/34(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;B82Y20/00(2011.01)I
专利有效期	一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法至一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法，该激光器包括单模产生区波导、锥形耦合区波导和表面发射区波导；单模产生区波导和锥形耦合区波导采用一阶光栅结构，表面发射区波导采用二阶光栅结构；单模产生区波导内部产生单模太赫兹种子光，锥形耦合区波导将所述太赫兹种子光放大并耦合到表面发射区波导，表面发射区波导使太赫兹激光垂直衬底表面出射。本发明实现了太赫兹量子级联激光器的大功率、窄线宽和小发散角太赫兹激光表面发射，在一定程度上抑制了横向高次模的激射，同时减少了波导之间的耦合损失和端面损失。