专利详情

专利名称	一种先进过程控制系统及其测试方法
申请号	CN201210048437.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102540895A	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	方晶晶;陈岚;阮文彪
主分类号	G05B13/04(2006.01)I	IPC主分类号	G05B13/04(2006.01)I;G05B23/02(2006.01)I
专利有效期	一种先进过程控制系统及其测试方法至一种先进过程控制系统及其测试方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种先进过程控制系统与该系统的测试方法。该系统与虚拟制造系统相连接，包括：实时错误检测模块，用于从虚拟制造系统的数据采集模块获取虚拟工艺制造过程中的产品性能参数，并比照预设的产品性能参数，对虚拟工艺制造过程中产品性能参数进行错误检测；错误分类与响应模块，用于针对检测出的错误进行分类，并查找产生该错误的原因；反馈/回馈控制模块，用于根据产生该错误的原因，调用相应的校正模型对该错误相关的工艺/设备参数进行校正，得到校正后的工艺设备参数，并将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块。本发明避免了先进过程控制系统嵌入实际工艺线时需要花费大量时间以及工艺设备无法正常进行生产的问题，降低了其测试和验证成本。