专利详情

专利名称	一种不锈钢衬底的精密抛光方法
申请号	CN200910194558.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101642893	公开（授权）日	2010.02.10
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	胡晓凯;宋志棠;刘卫丽
主分类号	B24B29/02(2006.01)I	IPC主分类号	B24B29/02(2006.01)I;C09G1/02(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I
专利有效期	一种不锈钢衬底的精密抛光方法至一种不锈钢衬底的精密抛光方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种不锈钢衬底的精密抛光方法，包括：按比例配制抛光液；将待抛光的不锈钢衬底5固定于抛光头4底部，加压装置7将抛光头4作用于抛光台6上，并且抛光台6、抛光头4在转动装置带动下旋转，同时抛光液2被输送至抛光垫1表面，使抛光液 2、抛光垫1及不锈钢衬底5三者充分接触；将不锈钢衬底5表面进行化学机械抛光至表面完全成镜面，立即清洗即可。经本发明抛光后的不锈钢衬底，其表面平整光滑，均方根粗糙度仅0.7纳米，克服了其他抛光方法所无法满足的平坦度及粗糙度的要求。