专利详情

专利名称	一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法
申请号	CN201210011554.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102534493A	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;葛芳芳;李艳玲;朱萍
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I
专利有效期	一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法至一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，成分表示为(V1-xAlx)N，其中，1-x为0.41～0.6，x为0.4～0.59，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具涂层。本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，将Al靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，通入Ar气和N2气，通过调节Al靶的功率和V靶的功率，在250℃～500℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。