专利详情

专利名称	一种使用球面波前绝对标定哈特曼-夏克传感器的方法
申请号	CN200910091741.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101639382	公开（授权）日	2010.02.03
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	饶长辉;杨金生;饶学军
主分类号	G01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	一种使用球面波前绝对标定哈特曼-夏克传感器的方法至一种使用球面波前绝对标定哈特曼-夏克传感器的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种使用球面波前标定哈特曼-夏克传感器的绝对标定方法，该标定方法可以非常准确地标定哈特曼-夏克传感器的物理参数和测量精度；其特征在于：利用球面波前与传感器输出之间的对应关系精确标定出传感器的物理参数；并且使用球面波前代替传统标定中使用的平面波前作为标定哈特曼-夏克传感器的参考光束。由于球面波前曲率半径与传感器输出的点阵图像特征之间存在着一一对应的关系，那么通过精确控制被测球面波前的曲率半径，并且将不同曲率半径时传感器输出图像的信息与对应的球面波前曲率半径信息相互联系，可以精确的标定出哈特曼-夏克传感器物理参数的实际值。使用球面波前代替平面波前作为去除系统误差的参考光束，由于消除了平面波前的自身误差对于提高哈特曼-夏克传感器的测量精度是有益的。