专利详情

专利名称	一种康芒法大口径平面镜检验集成装置
申请号	CN200910195165.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101639350	公开（授权）日	2010.02.03
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	蒋丹杰;孙胜利;张朋军
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种康芒法大口径平面镜检验集成装置至一种康芒法大口径平面镜检验集成装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种康芒法大口径平面镜检验集成装置，包括：本体上固联球面镜支架，同时载物台安放有平面镜支撑转台-支架系统，同时可以360°自由回转的高精度转台。整个结构从侧面看呈“L”形；平面镜支撑转台，其转轴与载物台转轴共轴；载物台及其载荷通过滚珠导轨卸载安放到基座上；载物台由蜗轮的主轴带动；蜗轮蜗杆系统由电机提供动力；编码器提供位置反馈信号，与电机构成闭环系统，控制载物台的位置。本发明的优点在于：省去了平时用瑞奇一康芒法检测平面镜面型时多次调整球面镜与平面镜角度、距离和同轴性的工作；整个系统结构简单，使用方便，精度好。