专利详情

专利名称	一种二维位置跟踪测量装置及其测量方法
申请号	CN201010585777.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102538663A	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院沈阳自动化研究所	发明（设计）人	朱思俊;郭大忠;邹媛媛;柳连柱;赵明扬;许石哲
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	一种二维位置跟踪测量装置及其测量方法至一种二维位置跟踪测量装置及其测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于测量领域，具体地说是一种二维位置跟踪测量装置及其测量方法，装置包括干涉仪本体、干涉计镜组、偏差检测系统、随动系统、转向元件及目标反射镜，偏差检测系统包括分光元件及光斑位置传感器；方法为干涉仪本体发射的激光依次通过干涉计镜组、分光元件，经转向元件转向后照射到目标反射镜上，目标反射镜反射的光经转向元件转向后照射到分光元件上、分为两路，一路反射回干涉仪本体，另一路照射在光斑位置传感器上；由光斑位置传感器检测出偏移量，再将检测出的偏移量转换成位移信号后传递给伺服电机，由伺服电机驱动转向元件移动，使转向元件准确跟踪目标反射镜。本发明测量精度高，结构简单，便携性好；测量方法简单，可靠性强。