一种通过电泳沉积制备二氧化钒薄膜的方法
- 申请号:CN201210020500.2
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学技术大学
- 公开(公开)号:CN102534731A
- 公开(公开)日:2012.07.04
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种通过电泳沉积制备二氧化钒薄膜的方法 | ||
申请号 | CN201210020500.2 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN102534731A | 公开(授权)日 | 2012.07.04 |
申请(专利权)人 | 中国科学技术大学 | 发明(设计)人 | 张建武;侯纪伟;阮奇峰 |
主分类号 | C25D13/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C25D13/02(2006.01)I |
专利有效期 | 一种通过电泳沉积制备二氧化钒薄膜的方法 至一种通过电泳沉积制备二氧化钒薄膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明提供一种制备二氧化钒薄膜的方法,其特征在于,先将二氧化钒粉体加入到溶剂中,然后加规定量碘单质、超声分散,制备出分散较好的悬浮液,作为电泳沉积液。使用导电衬底作电极,用直流电源来提供电压或电流,将电极放入到二氧化钒悬浮液中,通过调节电压、电流、沉积时间等在电极上直接得到二氧化钒沉积薄膜,自然晾干或烘干。本发明方法的特点在于先成相后成膜,电极上不发生电化学反应,沉积前后粉体的相不发生变化、克服了现有制备技术先成膜后成相而导致薄膜不纯的缺点。本发明膜厚可以控制,工艺简单,反应条件温和,沉积时间短,膜层生长速率快,稳定性高,废液可以循环利用,经济且无污染,适合大面积和大批量生产。 |
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