专利详情

专利名称	一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法
申请号	CN201210040980.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102593063A	公开（授权）日	2012.07.18
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	曹鸿涛;梁凌燕;刘志敏
主分类号	H01L21/8254(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/8254(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I
专利有效期	一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法至一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法，包括以下步骤：选择衬底，并进行栅介质层及输入端电极的制备，或者，选择衬底，在衬底上制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极；采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料，沉积氧化亚锡薄膜，之后进行第一次热退火处理，完成氧化亚锡沟道层的制备；制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极，进行第二次退火处理，或者制备栅介质层及输入端电极，进行第二次退火处理，从而制备底栅结构或者顶栅结构的反相器；本发明制备方法简单可控，制备的双极性氧化亚锡反相器可同时工作在第一和第三象限，且具有较高的增益，在光电子器件、镜片、车窗、广告、医疗设备等领域中应用前景十分广阔。