专利详情

专利名称	微波太赫兹波探测器及其制备方法
申请号	CN201210073157.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102593235A	公开（授权）日	2012.07.18
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	蒋春萍;王亦
主分类号	H01L31/112(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/112(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	微波太赫兹波探测器及其制备方法至微波太赫兹波探测器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明揭示了一种微波太赫兹波探测器及其制备方法，以高电子迁移率晶体管为基本结构，该探测器在有源区的台面设有背栅和至少一个长度介于1μm至1mm的条状结构，条状结构中设有呈凹型结构或带指状的正栅，条状结构的两端形成与二维电子气通道欧姆接触的电极，且凹型结构凹处或指与电极的间距为0.5μm至500μm，其中所述背栅刻蚀深度为直达衬底。并且本发明提出了完整而可行的该种探测器制备方法。应用本发明的技术方案，较之于传统的探测器系统的显著优点为：能够无需依赖任何光学元件辅助，即可实现对微波-太赫兹波辐射的功率响应和频率响应，为降低探测器系统复杂程度、减少成本提供了一种切实保障。