专利详情

专利名称	基于柱面镜聚焦的全息扫描高密度光栅的制备装置
申请号	CN201210033824.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102566391A	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	贾伟;周常河;俞斌;麻健勇;王少卿;曹红超
主分类号	G03H1/12(2006.01)I	IPC主分类号	G03H1/12(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	基于柱面镜聚焦的全息扫描高密度光栅的制备装置至基于柱面镜聚焦的全息扫描高密度光栅的制备装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于柱面镜聚焦的全息扫描高密度光栅的制备装置，该装置包括双光束全息干涉光路，柱面镜，扫描平台和自动聚焦系统，由紫外激光器、第一半透半反镜、第一反射镜、第二反射镜、第一扩束准直装置、第二扩束准直装置、柱面镜、扫描平台、红光激光器、第二半透半反镜、像散透镜、四象限探测器组成，本发明装置可以实现高密度光栅的并行光刻，装置具有稳定性好、并行度高、光栅加工速度快等优点。