专利详情

专利名称	激光光斑动态测量方法及测量仪
申请号	CN201010606548.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102564614A	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	曹强;王如泉
主分类号	G01J11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J11/00(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I
专利有效期	激光光斑动态测量方法及测量仪至激光光斑动态测量方法及测量仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供激光光斑动态测量方法及测量仪，其中，测量方法包括下列步骤：1)CCD各像素分别探测所接收到的光强；2)将各像素探测到的光强数据记为矩阵I；基于激光光斑光强分布公式，根据实测的光强数据矩阵I及相应各像素的横纵轴坐标值，利用线性最小二乘法得出σx，σy，xc，yc，A和I0；其中，xc与yc分别为光斑中心的横纵轴坐标值，σx与σy分别为横纵轴1/e半径，A为幅度，I0为暗噪声；4)通过牛顿迭代法得出参数向量P(k)的修正向量D，计算P(k+1)＝P(k)+D；5)重复执行步骤4)，直至迭代次数达到预设值K或第k次迭代得出的参数向量P(k)的误差小于预设的容忍值，将此时的参数向量P(k)的各元素作为所测得的激光光束参数。本发明还提供了相应的激光光斑动态测量仪。本发明测量速度快、精度高、动态范围大。