专利详情

专利名称	一种微型电容式力学传感器及其制备方法
申请号	CN201210044921.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102589760A	公开（授权）日	2012.07.18
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	张珽;刘瑞
主分类号	G01L1/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01L1/14(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	一种微型电容式力学传感器及其制备方法至一种微型电容式力学传感器及其制备方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上，固态介电层设置于固定电极上，可动电极通过导电支撑柱的支撑保持悬空，固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。本发明采用固态介电层与空气介电层复合的双介电层结构，可以通过调节微型电容值的变化范围，适用于不同领域的测量，具有灵敏度高，动态性能好，能量损耗小，制备成本低的特点，并且能够适应较为恶劣的环境。