专利详情

专利名称	一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器
申请号	CN201120447127.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202334945U	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	张振厚;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松
主分类号	H05B3/20(2006.01)I	IPC主分类号	H05B3/20(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I
专利有效期	一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器至一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及平板加热器，具体地说是一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，包括至少一个加热平板，在该加热平板上至少设有一个辐射加热线圈，在所述辐射加热线圈对应的加热温区上连接有控制该加热温区温度的温控表；所述辐射加热线圈镶嵌于加热平板中，在加热平板上覆盖有金属板。本实用新型结构简单、成本低，易于实现，节省空间，加热均匀；各辐射加热线圈可独立控温；本实用新型在加热平板上覆盖有金属板，可以防止氮化硅沉积到加热平板1的表面，起保护作用。