计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法
- 申请号：CN200910055553.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN101619440
- 公开(公开)日：2010.01.06
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法 | ||
| 申请号 | CN200910055553.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101619440 | 公开（授权）日 | 2010.01.06 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王宁;易葵;郭世海 |
| 主分类号 | C23C14/30(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/30(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
| 专利有效期 | 计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法 至计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种计算机控制镀膜机电子束偏转的装置及控制方法，所述的计算 机控制镀膜机的电子束偏转的装置，由扫描控制仪、手动遥控器、数 据采集卡和计算机组成。本发明对电子束偏转的控制精度高、可靠性高， 对于不同的电子枪设备具有普遍适应性。每台电子枪设备，只需进行一 次数据采集和数据处理过程后，用户可以通过控制数据的调整，由计算 机自动运行控制。 | ||
交易流程
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专利 -
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