专利详情

专利名称	一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪
申请号	CN200910067382.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101614523	公开（授权）日	2009.12.30
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	巩岩;李顺;张巍
主分类号	G01B9/023(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/023(2006.01)I;G03H1/16(2006.01)I
专利有效期	一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪至一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，属于光学检测技术领域中的检测设备。要解决的技术问题：提供一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，技术方案：包括激光光源、起偏器、多光束分光器、光阑、偏振分光镜、1/4波片、五棱镜、待测筒状非球面镜、傅里叶变换透镜、CCD相机等。在激光光源的光轴上，依次放置起偏器、直角棱镜、多光束分光器、光阑、半波片、偏振分光镜、第二1/4波片、参考平面镜；偏振分光镜的分光面与光轴45度，右边依次放置傅里叶透镜、CCD相机；左边光路上依次放置第一1/4波片、第一、二五棱镜，第二五棱镜的出射面正对待测筒状非球面镜的内表面；待测筒状非球面镜放置在旋转平台上。