一种扫描近场光学显微镜
- 申请号：CN201210116669.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 公开(公开)号：CN102621351A
- 公开(公开)日：2012.08.01
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种扫描近场光学显微镜 | ||
| 申请号 | CN201210116669.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102621351A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 钟海舰;刘争晖;徐耿钊;樊英民;徐科 |
| 主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I |
| 专利有效期 | 一种扫描近场光学显微镜 至一种扫描近场光学显微镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及显微成像领域。本发明提供一种扫描近场光学显微镜，包括真空腔体和光纤探针扫描装置系统，所述光纤探针扫描装置系统位于真空腔体中，所述光纤探针扫描单元包括一光纤探针，一支撑架和一光纤定位槽，所述光纤定位槽位于支撑架上，所述光纤探针的尾端固定于光纤定位槽上，所述光纤探针扫描装置系统包括多个光纤探针扫描单元。本发明的优点在于，通过在真空腔体内设置多个光纤探针扫描单元，从而避免更换光纤探针所面临的巨大的人力、物力和时间的浪费。 | ||
交易流程
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专利 -
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