专利详情

专利名称	一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法
申请号	CN201210106746.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102620842A	公开（授权）日	2012.08.01
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;许嘉俊;邢廷文
主分类号	G01J9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法至一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，经过半透半反镜反射的第一路光照射第一小孔，第二路光经过半透半反镜透射后经分光镜透射，再经反射镜反射的光再经分光镜反射，再经衰减片照射到第二小孔。第二小孔产生的衍射球面波与第一小孔产生的衍射球面波发生干涉，干涉条纹经过会聚光学单元，再由光学探测器收集。然后旋转小孔夹持架，测量第二小孔和第三小孔产生的衍射球面波的误差。再次旋转小孔夹持架，测量第三小孔和第一小孔产生的衍射球面波的误差，从而解出三个小孔产生的衍射球面波的误差。本发明降低高精度小孔的加工成本，同时使测量更加自动化，不需要更换小孔。