专利详情

专利名称	基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用
申请号	CN201110003994.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102129125A	公开（授权）日	2011.07.20
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李四华;吴亚明
主分类号	G02B26/08(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/08(2006.01)I;G02B6/293(2006.01)I;B81B5/00(2006.01)I
专利有效期	基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用至基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器17由单个堆叠式二轴微镜驱动器16阵列化排布而成。单个堆叠式二轴微镜驱动器16由下电极结构13，中间电极结构14和上电极结构15共三个独立部件构成。其中三个独立部件由以下结构构成：弯曲悬臂梁1、扭转悬臂梁2、扭转悬臂梁3、台阶下电极4、X轴转动方向基底镜面的限位平面5、台阶下电极的引线锚点6、X轴转动方向基底镜面7、X轴转动方向基底镜面的限位凸点8、Y轴转动方向上镜面支撑锚点9Y轴转动方向上镜面10，Y轴转动方向上镜面的限位凸点11、Y轴转动方向上镜面的电极引线锚点12。