蓝宝石衬底及抛光方法与应用
- 申请号：CN200910053513.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号：CN101604666
- 公开(公开)日：2009.12.16
- 法律状态：授权
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 蓝宝石衬底及抛光方法与应用 | ||
| 申请号 | CN200910053513.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101604666 | 公开（授权）日 | 2009.12.16 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 胡晓凯;宋志棠;刘卫丽 |
| 主分类号 | H01L23/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L23/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I |
| 专利有效期 | 蓝宝石衬底及抛光方法与应用 至蓝宝石衬底及抛光方法与应用 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝 宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面 只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增加了抛光效率。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言