一种热电堆红外探测器
- 申请号：CN201010173938.5
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN102244190A
- 公开(公开)日：2011.11.16
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种热电堆红外探测器 | ||
| 申请号 | CN201010173938.5 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102244190A | 公开（授权）日 | 2011.11.16 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘瑞文;焦斌斌;陈大鹏 |
| 主分类号 | H01L35/32(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L35/32(2006.01)I;H01L35/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种热电堆红外探测器 至一种热电堆红外探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，以及形成于钝化层之上的反射层，以及通过牺牲层释放技术形成的第二红外吸收层。所述探测器提高了红外吸收率，并使热电偶对冷端与热端的温度差增大，从而使探测器的响应率变大，灵敏度提高。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
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