专利详情

专利名称	可二维微调的微型电动平移台
申请号	CN201110195387.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102243357A	公开（授权）日	2011.11.16
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司	发明（设计）人	吴文镜;李国光;艾迪格·基尼欧;马铁中;夏洋
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I
专利有效期	可二维微调的微型电动平移台至可二维微调的微型电动平移台	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	公开了一种可二维微调的微型电动平移台包括基板（1）、导轨组件（2）、滑板组件（3）、驱动组件（4）；所述基板（1）与所述导轨组件（2）固定连接；所述驱动组件（4）与所述导轨组件（2）固定连接；所述滑板组件（3）串接于所述导轨组件（2）构成移动副；所述驱动组件（4）与所述滑板组件（3）配合连接构成旋转副。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的单一位置精确平移定位以及多工位平移功能，同时可以对该光学器件进行二维的角度的手动微调，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的平移，方便产品集成开发。