专利详情

专利名称	一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置
申请号	CN201210370047.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102851637A	公开（授权）日	2013.01.02
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	刘星元;林杰;李会斌
主分类号	C23C14/00(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/00(2006.01)I
专利有效期	一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置至一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种使器件在手套箱与真空室之间转移的传递装置，属于真空镀膜技术领域，涉及一种真空镀膜领域的真空辅助部件，目的在于解决现有技术中过渡室体积庞大而导致的抽气时间较长的问题，并且避免了资源的浪费。包括转移机构及托板；所述托板的右端部固定在所述转移机构左端部的连接轴上，所述转移机构可带动托板伸缩，所述转移机构与所述托板整体位于过渡室中，所述转移机构右端与过渡室壁的右侧连接，过渡室右端与手套箱连接、左端通过插板阀与真空室接口连接，所述转移机构为X杆机构，所述手套箱箱口处装有真空夹阀。通过X杆机构实现器件在真空室与手套箱之间的传递，减小了过渡室的体积，缩短了抽气时间，减少了保护气体的冲入量。