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晶体管

  • 申请号:CN201190000072.6
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN202633241U
  • 公开(公开)日:2012.12.26
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 晶体管
申请号 CN201190000072.6 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN202633241U 公开(授权)日 2012.12.26
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 尹海洲;朱慧珑;骆志炯
主分类号 H01L21/425(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/425(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I
专利有效期 晶体管 至晶体管 法律状态
说明书摘要 本实用新型提供了一种晶体管。该晶体管(100)包括:半导体衬底(102);形成在所述半导体衬底上的栅极电介质(104);形成在所述栅极电介质上的栅极(106);位于所述栅极电介质下方的沟道区(112);位于所述半导体衬底中、且分别在所述沟道区两侧的源区(108)和漏区(110),其中至少所述源区和漏区之一包含毗邻所述沟道区、在垂直于所述半导体衬底的表面的方向上排列的一组位错(101),该组位错包含至少两个位错。

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