专利详情

专利名称	热光型红外探测器及其制作方法
申请号	CN200910049388.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101566502	公开（授权）日	2009.10.28
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	冯飞;闫许;熊斌;王跃林
主分类号	G01J5/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I
专利有效期	热光型红外探测器及其制作方法至热光型红外探测器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种热光型红外探测器及制作方法，其特征在于所述的红外探测器由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，以及和硅衬底相键合的玻璃构成，或者由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，与硅衬底相键合的玻璃以及和硅衬底相粘接的红外滤光片构成。在所述的TO-IRD中，采用特殊的隔热柱结构和工艺设计，制作出具有较高高度、站立于硅衬底上的隔热柱，提高TO-IRD的隔热性能；在像素膜系结构中，通过设计和制作专门的红外吸收层，提高TO-IRD对红外辐射的吸收率，且不影响它对读出光的调制功能；采用硅玻璃键合或在真空中粘接红外滤光片，实现器件的真空封装。