专利详情

专利名称	一种微型波导的制备方法
申请号	CN200910302627.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101557028	公开（授权）日	2009.10.14
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王显泰;金智;郭建楠;吴旦昱
主分类号	H01P11/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01P11/00(2006.01)I
专利有效期	一种微型波导的制备方法至一种微型波导的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及半导体工艺和MEMS工艺技术领域的一种微型波导的制备方法，所述方法包括：在基片上制作微型波导的底面金属壁；在制作完底面金属壁的基片上制作微型波导侧壁胶图形；在所述微型波导侧壁胶图形的侧面和顶面制作微型波导侧壁和顶壁的起镀层；在所述起镀层上制作电镀保护胶膜，并将制作微型波导侧壁和顶壁的区域暴露出来；对所述起镀层进行电镀，并形成微型波导侧壁和顶壁；去除所述侧壁胶图形、电镀保护胶膜及未电镀的起镀层，得到微型波导腔体。采用本发明可以有效控制贵金属微型波导制作中的工艺和材料成本，所制作的微型波导可以实现较大的高度，同时本发明所采用的基本工艺步骤是常用技术，工艺兼容性好。