等离子体浸没离子注入机
- 申请号：CN201130445442.4
- 专利类型：外观设计
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN301914763S
- 公开(公开)日：2012.05.16
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 等离子体浸没离子注入机 | ||
| 申请号 | CN201130445442.4 | 专利类型 | 外观设计 |
| 公开（公告）号 | CN301914763S | 公开（授权）日 | 2012.05.16 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 屈芙蓉;李楠;李超波;夏洋;李勇滔 |
| 主分类号 | 15-09 | IPC主分类号 | 15-09 |
| 专利有效期 | 等离子体浸没离子注入机 至等离子体浸没离子注入机 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 1.本外观设计产品的名称：等离子体浸没离子注入机。2.本外观设计产品的用途：用于半导体制造技术中的离子注入工艺。3.本外观设计的设计要点：在于外部形状。4.最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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