专利详情

专利名称	基于SEMI标准的SECS通信方法
申请号	CN200810010912.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101552794	公开（授权）日	2009.10.07
申请（专利权）人	沈阳中科博微自动化技术有限公司;中国科学院沈阳自动化研究所	发明（设计）人	于海斌;王宏;林跃;徐皑冬;周建辉;康凯;刘明哲;王水涛
主分类号	H04L29/08(2006.01)I	IPC主分类号	H04L29/08(2006.01)I;H04L12/54(2006.01)I
专利有效期	基于SEMI标准的SECS通信方法至基于SEMI标准的SECS通信方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理，能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求，可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。