专利详情

专利名称	压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法
申请号	CN200910049634.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101539588	公开（授权）日	2009.09.23
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	鲍海飞;李昕欣;宋朝辉;刘民
主分类号	G01P21/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01P21/00(2006.01)I
专利有效期	压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法至压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模态的共振频率信息，利用获得的原始数据进行频谱分析，获得微结构的模态共振频率。加速度传感器模态的共振频率包括器件在敏感方向和非敏感方向的同一结构的不同共振频率。通过确定加速度传感器不同模态的一阶共振频率，还可以获取微结构加工制造的结构参数，验证结构尺寸设计的正确性，可用来分析器件工作状态。测试方法适合于具有全桥结构的高量程压阻、电容等类型的加速度传感器、压力传感器等。