专利详情

专利名称	一种全自动下传输系统
申请号	CN201110357788.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103103495A	公开（授权）日	2013.05.15
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	雷震霖;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松
主分类号	C23C16/44(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/44(2006.01)I
专利有效期	一种全自动下传输系统至一种全自动下传输系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机与传感器设置在传输型材上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。本发明在由4个传输工位构成的下传输系统上传输碳板，避免了在8个传输工位构成的传输系统传输不稳等缺点，可以降低碎片率，并且由于减少了设备元件，可以降低成本。