专利详情

专利名称	分束光栅子光束阵列的位相和光强测量装置和方法
申请号	CN201210444533.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102944193A	公开（授权）日	2013.02.27
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	李兵;职亚楠;周煜;戴恩文;孙建锋;侯培培;刘立人
主分类号	G01B11/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/26(2006.01)I;G01J1/00(2006.01)I
专利有效期	分束光栅子光束阵列的位相和光强测量装置和方法至分束光栅子光束阵列的位相和光强测量装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种分束光栅子光束阵列位相和光强的测量方法，其特点在于激光器发出的入射激光经第一分束镜分成两路：一路透射光经第一准直扩束器进行准直扩束成平面波后，垂直照射位于傅里叶透镜前焦面的分束光栅，经第一反射镜反射后，再经第二分光镜反射，最后进入CCD相机；另外一路反射光经第二反射镜反射后，先通过光开关，然后通过光学相位延迟器，然后通过第二准直扩束器后成为平面参考光，透射过第二分光镜，垂直入射CCD相机。CCD相机采集光场强度分布并将数据传输到计算机中进行处理。当光开关打开，可通过移相干涉法得到分束光栅子光束阵列的位相；当光开关关闭时，可直接得到分束光栅子光束阵列光强的分布。