专利详情

专利名称	生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统
申请号	CN201110360219.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103105378A	公开（授权）日	2013.05.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	史丽娜;李海亮;杜宇禅;牛洁斌;朱效立;李冬梅;谢常青;刘明
主分类号	G01N21/55(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/55(2006.01)I
专利有效期	生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统至生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统	法律状态	授权
说明书摘要	本发明实施例公开了一种生物传感器，包括：透光衬底；透光衬底上的支撑柱阵列，所述支撑柱阵列包括多个支撑柱，每个支撑柱上表面形成有金属层。通过在透明衬底上形成有支撑柱阵列，每个支撑柱上具有金属层，所有的金属层构成了阵列排布的阵列金属层结构，这种传感器结构可采用标准的半导体工艺制作，因此体积小且易于集成。在进行检测时，支撑柱之间的间隔内也充满了待测生物体，金属层阵列结构几乎被包围在待测生物体内，相对于无支撑柱阵列的一般结构，我们这种结构支持极窄带宽的共有化共振模式，这种模式对金属表面折射率的变化极其敏感。同时阵列结构中的布拉格散射可以提供激发表面等离子体共振所需的波矢匹配，而无需使用棱镜结构，因此这种生物传感器体积小且灵敏度高。