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金属性纳米管去除方法

  • 申请号:CN201110354410.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN103101898A
  • 公开(公开)日:2013.05.15
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 金属性纳米管去除方法
申请号 CN201110354410.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103101898A 公开(授权)日 2013.05.15
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 朱慧珑;骆志炯;尹海洲
主分类号 C01B31/02(2006.01)I IPC主分类号 C01B31/02(2006.01)I
专利有效期 金属性纳米管去除方法 至金属性纳米管去除方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本申请公开了一种金属性纳米管去除方法,其中金属性纳米管沿第一方向形成于衬底上。该方法包括:沿与第一方向交叉的第二方向,形成多个导体,所述导体与所述金属性纳米管电接触;在所述导体上形成至少两个电压施加电极,每一电压施加电极与数目至少为一个的相应一部分导体形成电接触;以及通过电压施加电极,向导体施加电压,其中,在被施加有电压的导体中,每两个相邻导体之间建立电势差,以烧毁金属性纳米管。

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