
金属性纳米管去除方法
- 申请号:CN201110354410.2
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN103101898A
- 公开(公开)日:2013.05.15
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 金属性纳米管去除方法 | ||
申请号 | CN201110354410.2 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103101898A | 公开(授权)日 | 2013.05.15 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 朱慧珑;骆志炯;尹海洲 |
主分类号 | C01B31/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B31/02(2006.01)I |
专利有效期 | 金属性纳米管去除方法 至金属性纳米管去除方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本申请公开了一种金属性纳米管去除方法,其中金属性纳米管沿第一方向形成于衬底上。该方法包括:沿与第一方向交叉的第二方向,形成多个导体,所述导体与所述金属性纳米管电接触;在所述导体上形成至少两个电压施加电极,每一电压施加电极与数目至少为一个的相应一部分导体形成电接触;以及通过电压施加电极,向导体施加电压,其中,在被施加有电压的导体中,每两个相邻导体之间建立电势差,以烧毁金属性纳米管。 |
交易流程
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01
选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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