专利详情

专利名称	一种异质pn结型日盲紫外探测器
申请号	CN200910048822.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101533868	公开（授权）日	2009.09.16
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	李效民;杨长;高相东;张亦文;曹逊
主分类号	H01L31/103(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/103(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I
专利有效期	一种异质pn结型日盲紫外探测器至一种异质pn结型日盲紫外探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种异质pn结型日盲紫外探测器，其结构自上而下依次由顶电极，锌铍镁氧薄膜，p-Si衬底和底电极叠置而成。锌铍镁氧薄膜作为光电响应材料，其分子式为Zn_1-x-yBe_xMg_yO，式中x、y为摩尔分数，且0＜x＜1， 0＜y＜1，0＜x+y＜1。可在保持单一六方纤锌矿结构的前提下，通过调节薄膜中 Be和Mg的含量控制探测器工作波段至日盲区(220～280nm)。锌铍镁氧薄膜与p-Si形成异质pn结结构，入射光产生的电子-空穴对可在内建电场作用下分开，导致载流子漂移出耗尽层形成外部电路电流。本发明的优点在于不受太阳光背景干扰，成本低，无需外加工作电压，结构简单且易于与Si集成，在环境保护、紫外通讯、生物医学研究以及天文学等领域具有重要应用前景。