专利详情

专利名称	一种电子枪坩埚定位控制系统及控制方法
申请号	CN201210591144.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103092217A	公开（授权）日	2013.05.08
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司	发明（设计）人	戚晖;刘定文;李重茂;梁学慧
主分类号	G05D3/12(2006.01)I	IPC主分类号	G05D3/12(2006.01)I;G05B19/05(2006.01)I
专利有效期	一种电子枪坩埚定位控制系统及控制方法至一种电子枪坩埚定位控制系统及控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种电子枪坩埚定位控制系统及控制方法，属于真空设备技术领域。常规的坩埚定位控制系统只能实现按照单一方向转动进行坩埚换位操作，不能发现并处理坩埚卡埚事件，影响生产并造成废片率的增加。针对上述存在的技术问题，本发明提供一种电子枪坩埚定位控制系统，包括PLC、编码器和电机（含驱动器），在坩埚定位过程中实时监测电机转动状态，发现卡埚后，驱动电机反复换向运行，以摆脱卡死状态，实现坩埚双向定位、卡埚检测及卡埚处理功能。