专利详情

专利名称	一种乐甫波传感器的封装结构
申请号	CN200810101502.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101527552	公开（授权）日	2009.09.09
申请（专利权）人	中国科学院声学研究所	发明（设计）人	李红浪;陈烨;何世堂
主分类号	H03H9/25(2006.01)I	IPC主分类号	H03H9/25(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I
专利有效期	一种乐甫波传感器的封装结构至一种乐甫波传感器的封装结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种乐甫波传感器的封装结构，包括乐甫波传感器，该乐甫波传感器的输入叉指换能器和输出叉指换能器位于敏感膜的左、右两侧，其特征在于：还包括有微流体芯片，该微流体芯片对应地键合在乐甫波传感器上；所述的微流体芯片与乐甫波传感器的接触面上设置有凹槽，以和乐甫波传感器键合后形成互不连通的输入叉指换能器空腔、输出叉指换能器空腔和敏感膜空腔；所述的微流体芯片与乐甫波传感器的接触部分的表面上、位于敏感膜的上、下两侧还设置有若干微通道，所述微通道的一端连通敏感膜空腔，另一端连通微流体芯片上设置的用于待测物进、出入的通孔。本发明能有效提高传感器的重复性、准确性和可靠性。