专利详情

专利名称	一种单粒子效应测试装置及系统
申请号	CN201210590234.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103063961A	公开（授权）日	2013.04.24
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王德坤;谢朝辉;赵明琦;刘海南;周玉梅;黑勇
主分类号	G01R31/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/00(2006.01)I
专利有效期	一种单粒子效应测试装置及系统至一种单粒子效应测试装置及系统	法律状态	公开
说明书摘要	本发明公开了一种单粒子效应测试装置及系统，该测试装置包括：旋转机构和与所述旋转机构相连的测试母板，所述测试母板上设置有多个测试子板，其中：每一测试子板用于安装被测器件；所述旋转机构用于获取控制请求，并根据控制请求驱动所述测试母板转动或者停止，使得每一测试子板接收加速器朝固定方向辐射的高能带电粒子。在该测试装置中，增加了测试子板的个数和被测器件的数量，减少了更换被测器件的次数，解决了现有技术中，由于需要频繁的更换被测器件而使得操作繁琐的问题，且每次更换被测器件进行抽真空操作浪费加速器的资源的问题。