专利详情

专利名称	变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法
申请号	CN201310002407.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103063876A	公开（授权）日	2013.04.24
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	车录锋;周晓峰;陶若杰;王跃林
主分类号	G01P15/125(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/125(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I
专利有效期	变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法至变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法	法律状态	公开
说明书摘要	本发明提供一种变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法。该加速度传感器至少包括：由相互电性隔离的第一基底、第二基底及第三基底键合成的三层层叠结构，其中，第二基底包括可动质量块、围绕可动质量块的边框、连接可动质量块及边框的弹性梁、处于可动质量块两表面的多个第二栅状电极、设于所述可动质量块的防过载结构等；第一基底的多个第一栅状电极与第二基底的多个第二栅状电极分别对应成电容结构，第三基底的多个第三栅状电极与第二基底的多个第二栅状电极分别对应成电容结构，并且此两组电容形成差分电容结构。本发明的优点包括灵敏度高、线性度好，且可基于需要来设计不同梁形状，故能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器，灵活性大。