专利详情

专利名称	线形阵列式大气压冷等离子体射流发生装置
申请号	CN201220452651.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202841676U	公开（授权）日	2013.03.27
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	左潇;沈洁;陈龙威;舒兴胜;魏钰;方世东;孟月东
主分类号	H05H1/46(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/46(2006.01)I
专利有效期	线形阵列式大气压冷等离子体射流发生装置至线形阵列式大气压冷等离子体射流发生装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种线形阵列式大气压冷等离子体射流发生装置，包括有筒形外壳，筒形外壳单边壁上或相对的上下壁上沿轴线方向开有均匀的出气通道口以形成线形等离子体射流，筒形外壳两端分别通过环形电极接有高压交流电源和射频电源，电源的另一端接地。本实用新型能在大气压下稳定工作，产生的线形等离子体射流富含活性的反应基团，能应用于大面积薄膜沉积和材料表面改性，操作便捷高效，双激励源能保证放电均匀性和稳定性。