专利详情

专利名称	一种用于130mm功率器件的结电容测试电路及装置
申请号	CN201220488636.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202854239U	公开（授权）日	2013.04.03
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	高振鹏;朱阳军;陆江;胡爱斌;佘超群;成星
主分类号	G01R27/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01R27/26(2006.01)I
专利有效期	一种用于130mm功率器件的结电容测试电路及装置至一种用于130mm功率器件的结电容测试电路及装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种本用于130mm功率器件模块的结电容测试电路，属于功率半导体器件结电容测试装置技术领域。该电路包括三个晶体管单元、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第Ⅰ输入电容、第Ⅰ输出电容、第Ⅰ反馈电容、第Ⅱ输入电容、第Ⅱ输出电容、第Ⅱ反馈电容，该三个晶体管单元具有源极测试点、漏极测试点和栅极测试点。本实用新型还公开了基于该用于130mm功率器件的结电容测试电路的装置。该测试电路及装置能够适用于包括3个晶体管单元、9个引脚的130mm功率器件。