专利详情

专利名称	通过出射光窗口电极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器
申请号	CN200910066780.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101521353	公开（授权）日	2009.09.02
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王伟;宁永强;秦莉;刘云;王立军
主分类号	H01S5/183(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/183(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I
专利有效期	通过出射光窗口电极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器至通过出射光窗口电极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及到一种垂直腔面发射激光器，特别是一种通过出射光窗口电极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器，包括p型DBR层、有源层、n型 DBR层、GaAs衬底、包覆在p型DBR层上的p面电极和敷设在GaAs衬底底部的n面电极的层次结构，其特点是，所述的n面电极由环形极板和覆盖于出射光窗口部分的条形栅极构成，其条形栅极的轴向平行于所述衬底的 (110)晶向。本发明VCSEL结构制造工艺简捷、重复性好，容易推广，将VCSEL 出射光的偏振方向很好的控制在衬底的(110)晶向和(110)晶向。