专利详情

专利名称	真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法
申请号	CN201210536501.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103033338A	公开（授权）日	2013.04.10
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	何玲平;陈波;王晓光
主分类号	G01M11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/00(2006.01)I
专利有效期	真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法至真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法，涉及真空紫外波段成像系统的平场定标装置及方法，解决现有由于材料、工艺及技术的限制，无法实现对真空紫外成像系统进行平场定标的标问题，本发明通过采用真空紫外空心阴极光源及真空紫外单色仪获取目标波长定标光束；通过准直反射镜将单色仪后方针孔模拟成无限远成像目标；真空罐内运动平台旋转使得带定标成像系统以不同的视场角接受平行光，使针孔成像在像面上不同位置；以插值方式得到视场扫描所未覆盖像面上的位置得灰度响应；以视场中心灰度响应为标准，计算不同位置的相对响应值，得到平场定标结果。本发明解决目前真空紫外波段成像系统的平场定标问题。