专利详情

专利名称	用于籽晶传动装置的调节平台
申请号	CN201020620976.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201915172U	公开（授权）日	2011.08.03
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	王宏宇;郭东民;黄晓霞;张国栋;佟辉;吕琪;王尧
主分类号	C30B35/00(2006.01)I	IPC主分类号	C30B35/00(2006.01)I
专利有效期	用于籽晶传动装置的调节平台至用于籽晶传动装置的调节平台	法律状态
说明书摘要	一种用于籽晶传动装置的调节平台，属于真空设备技术领域。包括滑台板、滑台、滑台座、固定支架、X轴调节机构、Y轴调节机构、第一滑轨滑块组件、第二滑轨滑块组件及与滑台连接的锁紧机构，所述滑台板、滑台、滑台座、固定支架均带有内孔，并依次套装于籽晶轴上，滑台座固定在固定支架上，在滑台座和滑台间、滑台和滑台板间分别安装有第一、第二滑轨滑块组件，滑台沿滑台座、滑台板沿滑台分别相对滑动，滑台板与籽晶轴固定连接，在滑台和滑台板间的X轴方向上设有X轴调节机构，在滑台和滑台座的Y轴方向上设有Y轴调节机构。本实用新型采用双导轨滑块调节二维精度，使其运动灵活，X轴、Y轴调节机构采用微分头调节，实现了微调、精调。