专利详情

专利名称	多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法
申请号	CN201010280022.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102401633A	公开（授权）日	2012.04.04
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	智林杰;贾玉莹;罗彬;梁明会
主分类号	G01B11/06(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/06(2006.01)I
专利有效期	多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法至多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法，其特征在于，该方法包括根据多孔氧化铝薄膜在200nm～2500nm范围内的透射光谱米判断多孔氧化铝薄膜是否含有阻挡层，其中，如果透射光谱在200nm～2500nm范围内出现振荡，则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度大于0；如果透射光谱在200nm～2500nm范围内不出现振荡，则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度为0。本发明的方法是一种无损检测方法，该方法能够简便、快速、高效、对样品无损害地监控以及检测多孔氧化铝薄膜的阻挡层的去除程度，在大规模生产中可以作为产品控制以及质量检测的重要手段。