专利详情

专利名称	提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法
申请号	CN200910045484.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101477029	公开（授权）日	2009.07.08
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	夏晓媛;李昕欣
主分类号	G01N19/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N19/00(2006.01)I
专利有效期	提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法至提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种提高谐振式超薄悬臂梁传感器的表面应力敏感方法，属于微机械传感技术领域。具体特征是在超薄的谐振式悬臂梁的上、下表面上均自组装生长能够进行选择特异性识别的单分子敏感膜，当敏感分子与待检测的目标分子特异性结合后，目标分子之间的相互作用在悬臂梁的表面上产生了表面应力，上下表面应力的共同作用导致悬臂梁的弹性系数发生变化，从而改变了悬臂梁的固有谐振频率，通过测量谐振频率的变化即可实现对目标分子的检测。同传统的利用质量吸附方法进行敏感测试相比，利用这种表面应力敏感的方法进行生化痕量测试，其灵敏度可以提高一个数量级。本发明特点是原理简单、灵敏度高、容易实现。