专利详情

专利名称	一种太阳能电池刻边机反应室结构
申请号	CN200710303893.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101471395	公开（授权）日	2009.07.01
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	刘训春;周宗义;李兵;王佳;张育胜;张永利
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I
专利有效期	一种太阳能电池刻边机反应室结构至一种太阳能电池刻边机反应室结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明一种太阳能电池刻边机反应室结构，它的腔壁与太阳电池片形状相似，呈方形，四角处可呈切角状或弧形，并作为产生辉光放电的射频供电的一个电极接地，腔室中间有一个金属电极接射频输出，该金属射频电极上放置有一结构特殊的载片架。在载片架中重叠在一起的硅片的边沿与腔壁之间的空间产生等离子体辉光，从而对载片架上的硅片边沿进行腐蚀。该反应室结构可使太阳能电池片的边沿钻蚀明显地减小，因而可提高太阳能电池片的转换效率和每批产品的一致性，同时它还有载片量大、刻蚀均匀性好等优点。