专利详情

专利名称	等离子增强化学气象沉积设备的控制方法
申请号	CN200710159306.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101469418	公开（授权）日	2009.07.01
申请（专利权）人	沈阳中科博微自动化技术有限公司;中国科学院沈阳自动化研究所	发明（设计）人	于海斌;王宏;林跃;徐皑冬;周建辉;康凯;刘明哲;胡河春
主分类号	C23C16/52(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/52(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I
专利有效期	等离子增强化学气象沉积设备的控制方法至等离子增强化学气象沉积设备的控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于控制系统技术，具体地说是一种等离子增强化学气象沉积设备的控制方法。它包括设备初始化控制、晶圆加工流程控制、设备异常报警控制，其中：设备初始化控制步骤为启动设备电源，打开报警监控，并发送传片腔和反应腔的初始化指令；晶圆加工流程控制步骤为导入工艺配方，使用批或层配方进行加工初始化、晶圆加工和加工结束控制；设备异常报警控制实现对设备异常和故障的监控，通过异常预处理机制和报警应答处理机制，对设备报警进行分步处理。采用本发明可实现对化学气象沉积的非常精确的工艺控制，能够满足半导体器件制造过程中的工艺要求。