专利详情

专利名称	一种大范围平面度的测量装置
申请号	CN201220080594.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202471022U	公开（授权）日	2012.10.03
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	肖茂森;吴易明;李春艳;刘爱敏;陆卫国
主分类号	G01B11/30(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/30(2006.01)I
专利有效期	一种大范围平面度的测量装置至一种大范围平面度的测量装置	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型提供一种大范围平面度的测量装置，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。