专利详情

专利名称	量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法
申请号	CN201210211816.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102735157A	公开（授权）日	2012.10.17
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	梁平;胡颖;刘俊岐;刘峰奇;王利军;张锦川
主分类号	G01B7/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01B7/26(2006.01)I
专利有效期	量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法至量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法，该装置包括：一支撑板(1)；一欧姆表(2)；两条连接导线(3)，该两条连接导线(3)分别连接在欧姆表(2)的两个接口；四个固定孔(4)，该四个固定孔(4)开在在支撑板(1)上，并排成一行；两个固定支架(5)，该两个固定支架通过四个固定孔(4)固定在支撑板(1)上；两个探针(6)，该两个探针(6)通过尾部的螺旋孔分别固定在两个固定铜支架(5)上。本发明提供的这种量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及其方法，具有制作简单，成本低，灵敏度高的优点，能够有效保证具有不同掺杂平面的半导体多层结构腐蚀程度。