专利详情

专利名称	一种太阳能电池表面减反射结构的制作系统及制作方法
申请号	CN201010244795.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101924166A	公开（授权）日	2010.12.22
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所;长春理工大学;东莞市星火机电设备工程有限公司	发明（设计）人	张锦;王作斌;刘水庆;宋正勋;翁占坤;刘国强
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种太阳能电池表面减反射结构的制作系统及制作方法至一种太阳能电池表面减反射结构的制作系统及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	太阳能电池表面减反射结构的制作系统及制作方法，其特征是用激光干涉光刻系统，将多个相干激光束组合，对干涉场内的光强度分布进行强弱调制，用调制后重新分布的激光能量烧蚀光电池器件材料表面，在大面积范围内产生微米或纳米级密集的孔、柱浮雕结构，从而减少反射率，增加对光的吸收，提高光电转换效率。用该方法在基体表面产生的减反射微细结构，由于没有外来材料，更稳定耐用，并且通过调整干涉光刻系统入射角可以调整结构的周期和尺寸，使接收波长更有针对性，具有工作波段可控性好的优点。